[实用新型]一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备

权利要求书

1.一种外延炉的过滤装置，其特征在于，包括：

进气端；

出气端；

尾气处理单元，所述进气端和所述出气端通过尾气处理单元连接；

加热器，以加热附着在所述尾气处理单元内的颗粒物；

收纳盒，所述收纳盒与所述尾气处理单元连接；以及，

过滤网，设置在所述尾气处理单元和所述出气端之间。

2.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，所述进气端、所述尾气处理单元和所述出气端位于同一条直线上。

3.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，还包括，

卡箍，其中所述进气端、所述出气端分别与所述尾气处理单元通过所述卡箍连接，所述尾气处理单元与所述收纳盒通过所述卡箍连接。

4.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，

所述收纳盒为圆柱筒状。

5.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，

所述加热器为锥形加热器。

6.根据权利要求5所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，

所述加热器包括加热电阻丝。

7.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，

所述过滤网的表面喷涂有耐高温不粘性涂层。

8.根据权利要求1所述的一种外延炉的过滤装置，其特征在于，

所述过滤网为漏斗形。

9.一种外延设备，其特征在于，包括：

外延炉反应室；

蝶阀；

机械泵；

以及，权利要求1-8任一项所述的外延炉的过滤装置；

其中，所述外延炉反应室与所述过滤装置连接，所述过滤装置与所述机械泵连接，所述过滤装置与所述机械泵之间连接有所述蝶阀。

10.根据权利要求9所述的一种外延设备，其中，

所述外延炉反应室与所述过滤装置通过连接管连接，所述过滤装置与所述机械泵通过连接管连接。