[实用新型]一种半导体制程冷却水系统控制有效
| 申请号： | 202122690172.4 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN217110154U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘云飞;梁锋 | 申请（专利权）人： | 上海井升机电工程有限公司 |
| 主分类号： | F25D17/02 | 分类号： | F25D17/02;F25D29/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 靳桂琳 |
| 地址： | 201613 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种半导体制程冷却水系统控制，包括下壳体、上壳体、下挡板、进水管、出水管、水泵、围边、螺纹孔、下开口、密封圈、上挡板、固定块、旋钮、围板、挡块和上开口。本申请能够通过上壳体和下壳体的配合能够实现冷却水的输送，且连接方便，能够实现上壳体与下壳体之间的密封连接，提高使用性能；本申请通过设置多个挡板能够实现冷却水的充分流通，并在冷却时能够根据半导体的数量进行冷却水流动方向的控制，能够有效提高冷却效果，提高半导体制程中的冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 冷却水 系统 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海井升机电工程有限公司，未经上海井升机电工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122690172.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：天线元件、包含其的天线装置和显示装置
- 下一篇：一种穿刺用可视型透明敷料
