[实用新型]一种半导体制程冷却水系统控制

权利要求书

1.一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：包括下壳体(1)和上壳体(2)；

其中，所述下壳体(1)内部与下挡板(3)固定连接，所述下壳体(1)分别与进水管(4)以及出水管(5)贯穿固定，所述进水管(4)与水泵(6)连通，所述下挡板(3)一侧开设有下开口(9)，所述上壳体(2)与下壳体(1)密封套接，所述上壳体(2)内部与上挡板(11)固定连接，所述上挡板(11)一侧开设有上开口(16)，所述上壳体(2)表面与围板(14)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：所述下壳体(1)内部设有若干个下挡板(3)，每个所述下挡板(3)的开口交错分布，所述下壳体(1)边缘固定连接有围边(7)，所述围边(7)开设有螺纹孔(8)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：所述下挡板(3)和上挡板(11)都由若干个直径不同的圆环状板体组成，所述下挡板(3)的下开口(9)相互交错分布，所述上挡板(11)的上开口(16)交错分布，位于外侧的所述下挡板(3)与位于内侧的上挡板(11)贴合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：所述下壳体(1)中部与进水管(4)连通，所述下壳体(1)一侧设有两个相互连接的出水管(5)，两个所述出水管(5)分别与下开口(9)与上开口(16)对应。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：所述下壳体(1)和上壳体(2)内壁都嵌合固定连接有密封圈(10)，所述密封圈(10)分别与下挡板(3)以及上挡板(11)贴合连接，所述上壳体(2)顶部设有圆环形结构的围板(14)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程冷却水系统控制，其特征在于：所述上壳体(2)外壁固定连接有若干个固定块(12)，每个所述固定块(12)都与旋钮(13)贯穿插接，所述旋钮(13)与螺纹孔(8)内部螺纹连接，所述上壳体(2)顶部固定连接有挡块(15)，所述挡块(15)与出水管(5)接触。