[实用新型]用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具有效
| 申请号： | 202122680077.6 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216763385U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈军;蒲健;李本功;苏浩;徐干阳 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技（宿迁）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 潘晓 |
| 地址： | 223800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，包括移载组件，移载组件的一端位于设备反应腔内，移载组件的另一端延伸至设备的外部；移载组件平行放置于设备反应腔的底部，至少部分移载组件位于顶盖的正下方，移载组件能够承载顶盖并且能够将顶盖从设备反应腔内移动至设备的外部。这样，避免了人力对顶盖进行搬运，提高了顶盖运输的安全性同时提高了顶盖运输的工作效率，从而方便了对顶盖的维护以及使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 设备 搬运 辅助工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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