[实用新型]用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，包括移载组件，所述移载组件的一端位于设备反应腔内，所述移载组件的另一端延伸至设备的外部；

所述移载组件平行放置于设备反应腔的底部，至少部分所述移载组件位于顶盖的正下方，所述移载组件能够承载顶盖并且能够将顶盖从设备反应腔内移动至设备的外部。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述移载组件包括侧壁梁，所述侧壁梁沿直线方向延伸布置，所述侧壁梁的一端放置于设备反应腔内，所述侧壁梁的另一端伸出至设备的外部；所述侧壁梁的数量为两个，两个所侧壁梁平行间隔设置；

所述移载组件还包括滚动杆，所述滚动杆位于两个所述侧壁梁之间，沿所述滚动杆的轴向，所述滚动杆的两端分别与两个所述侧壁梁活动连接；所述滚动杆的数量为多个，多个所述滚动杆沿所述侧壁梁的延伸方向平行并列分布设置。

3.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述滚动杆与所述侧壁梁轴承连接，所述滚动杆能够相对所述侧壁梁朝向所述滚动杆的壁沿自身周向旋转。

4.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述移载组件包括承载板，所述承载板活动连接于所述滚动杆的上方，所述滚动杆带动所述承载板沿所述侧壁梁的延伸方向来回移动。

5.根据权利要求2所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具包括支撑架，所述支撑架的一端放置于地面，所述支撑架的另一端与所述移载组件连接；所述支撑架用于支撑所述移载组件。

6.根据权利要求5所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述支撑架包括基部和支撑部，所述支撑部位于所述基部的上方，所述支撑部与所述基部连接；沿所述支撑架的轴向，所述基部远离所述支撑部的一端放置于地面，所述支撑部远离所述基部的一端与移载组件连接。

7.根据权利要求6所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述基部包括圆筒部和脚部，所述脚部的一端与所述圆筒部固定连接，所述脚部的另一端与地面接触，所述圆筒部的内周成形有容纳腔；

所述支撑部包括第一杆部和第二杆部，所述第一杆部与所述第二杆部互相垂直设置；所述第二杆部的一端与所述第一杆部固定连接，所述第二杆部的另一端嵌入所述圆筒部的容纳腔设置；所述支撑架与所述移载组件连接时，所述第一杆部位于两个所述侧壁梁之间，所述第一杆部的两端分别与两个所述侧壁梁固定连接。

8.根据权利要求7所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述第二杆部与所述圆筒部间隙配合；所述支撑架还包括调节螺丝，所述调节螺丝设置于所述第二杆部与所述圆筒部的连接处，所述调节螺丝控制所述第二杆部与所述圆筒部之间相对固定或者相对活动。

9.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具还包括底板，所述底部位于设备反应腔内，所述底板与设备反应腔的底壁固定连接，所述移载组件放置于所述底板上方。

10.根据权利要求9所述的用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其特征在于，所述底板成形有多个与设备反应腔的底壁对应的螺丝孔，所述底板通过螺栓固定连接于设备反应腔的底壁。