[实用新型]用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具

说明书

一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，包括移载组件，移载组件的一端位于设备反应腔内，移载组件的另一端延伸至设备的外部；移载组件平行放置于设备反应腔的底部，至少部分移载组件位于顶盖的正下方，移载组件能够承载顶盖并且能够将顶盖从设备反应腔内移动至设备的外部。这样，避免了人力对顶盖进行搬运，提高了顶盖运输的安全性同时提高了顶盖运输的工作效率，从而方便了对顶盖的维护以及使用。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积领域，具体涉及一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具。

背景技术

目前，在化学气相沉积设备的使用与维护领域，一般通过直接操作叉车来搬运化学气相沉积设备中的顶盖。

然而，在现有的化学气相沉积设备中，在其顶盖处装设有立式升降机构，顶盖跟随立式升降机构上下移动，立式升降机构限定了搬运顶盖的动作只能在设备的反应腔区域进行，脱离了立式升降机构的顶盖只能落在设备的反应腔区域内。

由于搬运动作受到区域限制，导致无法通过操作叉车直接将顶盖从设备反应腔室区域移出，从而只能采用人力搬运顶盖的方式，这对顶盖的维护以及使用造成不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，以有利于解决目前化学气相沉积设备中的顶盖需要人力搬运的问题。

为实现上述实用新型目的之一，本实用新型一实施方式提供了一种用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具，其中，包括移载组件，所述移载组件的一端位于设备反应腔内，所述移载组件的另一端延伸至设备的外部；

所述移载组件平行放置于设备反应腔的底部，至少部分所述移载组件位于顶盖的正下方，所述移载组件能够承载顶盖并且能够将顶盖从设备反应腔内移动至设备的外部。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述移载组件包括侧壁梁，所述侧壁梁沿直线方向延伸布置，所述侧壁梁的一端放置于设备反应腔内，所述侧壁梁的另一端伸出至设备的外部；所述侧壁梁的数量为两个，两个所侧壁梁平行间隔设置；

所述移载组件还包括滚动杆，所述滚动杆位于两个所述侧壁梁之间，沿所述滚动杆的轴向，所述滚动杆的两端分别与两个所述侧壁梁活动连接；所述滚动杆的数量为多个，多个所述滚动杆沿所述侧壁梁的延伸方向平行并列分布设置。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述滚动杆与所述侧壁梁轴承连接，所述滚动杆能够相对所述侧壁梁朝向所述滚动杆的壁沿自身周向旋转。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述移载组件包括承载板，所述承载板活动连接于所述滚动杆的上方，所述滚动杆带动所述承载板沿所述侧壁梁的延伸方向来回移动。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述用于化学气相沉积设备的搬运辅助工具包括支撑架，所述支撑架的一端放置于地面，所述支撑架的另一端与所述移载组件连接；所述支撑架用于支撑所述移载组件。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述支撑架包括基部和支撑部，所述支撑部位于所述基部的上方，所述支撑部与所述基部连接；沿所述支撑架的轴向，所述基部远离所述支撑部的一端放置于地面，所述支撑部远离所述基部的一端与移载组件连接。

作为本实用新型一实施方式的进一步改进，所述基部包括圆筒部和脚部，所述脚部的一端与所述圆筒部固定连接，所述脚部的另一端与地面接触，所述圆筒部的内周成形有容纳腔；

所述支撑部包括第一杆部和第二杆部，所述第一杆部与所述第二杆部互相垂直设置；所述第二杆部的一端与所述第一杆部固定连接，所述第二杆部的另一端嵌入所述圆筒部的容纳腔设置；所述支撑架与所述移载组件连接时，所述第一杆部位于两个所述侧壁梁之间，所述第一杆部的两端分别与两个所述侧壁梁固定连接。