[实用新型]装载杯和包括该装载杯的化学机械抛光系统有效
| 申请号： | 202122670845.X | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN217434023U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 鲁伟;J·张;唐建设;B·J·布朗 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32;B24B37/34;B24B55/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及装载杯以及包括该装载杯的化学机械抛光系统，所述装载杯包括环形基板站，所述环形基板站被配置为接收基板。环形基板站包围位于装载杯内的喷雾器。喷雾器包括一组激励流体喷嘴，所述一组激励流体喷嘴邻近在环形基板站与喷雾器之间的界面设置在喷雾器的上表面上。一组激励流体喷嘴被配置为相对于上表面以向上角度释放激励流体。 | ||
| 搜索关键词： | 装载 包括 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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