[实用新型]装载杯和包括该装载杯的化学机械抛光系统

权利要求书

1.一种装载杯，其特征在于，所述装载杯包括：

环形基板站，所述环形基板站被配置为接收基板；以及

喷雾器，所述喷雾器位于所述装载杯内并且由所述环形基板站包围，所述喷雾器包括一组激励流体喷嘴，所述一组激励流体喷嘴邻近在所述环形基板站与所述喷雾器之间的界面设置在所述喷雾器的上表面上，其中所述一组激励流体喷嘴被配置为相对于所述上表面以向上角度释放激励流体，其中所述一组激励流体喷嘴包括设置在所述喷雾器的外部部分的所述上表面上的至少一个激励流体喷嘴以及设置在所述喷雾器的内部部分的所述上表面上的至少一个激励流体喷嘴。

2.如权利要求1所述的装载杯，进一步包括一组喷雾喷嘴，所述一组喷雾喷嘴被配置为递送流体喷雾，其中每个相应喷雾喷嘴设置在每个相应激励流体喷嘴附近。

3.如权利要求2所述的装载杯，其中所述激励流体是蒸汽，并且所述流体喷雾是去离子(DI)水。

4.如权利要求2所述的装载杯，其中所述激励流体喷嘴中的每一者被配置为以平坦扇形射流引导流体，其中所述平坦扇形射流的平坦部分与所述环形基板站的内周边基本上平行，其中在所述激励流体喷嘴的尖端处从所述平坦扇形射流的第一边缘枢转到第二边缘的射流角为约30度至约50度。

5.如权利要求2所述的装载杯，其中所述一组喷雾喷嘴中的每一者都耦接到雾化器，使得来自所述喷雾喷嘴的流体呈雾形式。

6.如权利要求1所述的装载杯，其中所述激励流体的所述向上角度相对于所述喷雾器的所述上表面为约90度。

7.如权利要求1所述的装载杯，其中所述一组激励流体喷嘴包括围绕所述喷雾器的所述外部部分的所述上表面等距间隔开的约1个至约5个激励流体喷嘴。

8.如权利要求1所述的装载杯，其中所述一组激励流体喷嘴包括设置在所述喷雾器的连接部分的所述上表面上的至少一个激励流体喷嘴，所述连接部分设置在所述外部部分与所述内部部分之间。

9.如权利要求1所述的装载杯，其中所述环形基板站包括凹口，所述凹口被配置为接收叶片的一部分，其中所述叶片被配置为传送所述基板。

10.如权利要求9所述的装载杯，其中所述叶片在所述喷雾器之上，使得所述一组激励流体喷嘴被暴露在所述叶片的开口内或围绕所述叶片的圆周暴露。

11.如权利要求1所述的装载杯，其中所述环形基板站包括用于支撑所述基板的凸起特征。

12.如权利要求1所述的装载杯，其中所述环形基板站包括销，所述销被配置为在其中接收所述基板并使所述基板居中。

13.如权利要求1所述的装载杯，其中所述一组激励流体喷嘴包括沿着所述喷雾器的直径设置的激励流体喷嘴的阵列。

14.一种化学机械抛光系统，其特征在于，所述化学机械抛光系统包括：

承载头，所述承载头包括保持环以将基板保持在所述承载头的隔膜下方；以及

装载杯，所述装载杯包括设置在所述装载杯的外部部分的上表面上的第一组激励流体喷嘴和设置在所述装载杯的内部部分的所述上表面上的第二组激励流体喷嘴，其中所述一组激励流体喷嘴被配置为将激励流体引导到在所述隔膜的外边缘与所述保持环的内周边之间的间隙。