[实用新型]机台连接结构

摘要

本实用新型公开了一种机台连接结构，包括：真空腔室，所述真空腔室设置在所述机台内部，所述真空腔室具有与其内部连通的出口部；检测装置，所述检测装置能够测量真空度；真空阀，所述真空阀与所述真空腔室和所述检测装置连通，所述真空阀能在打开与关闭时使得真空腔室与检测装置之间处于连通或隔断状态。本实用新型可以使得在关闭真空阀后实现将真空腔室与检测装置之间隔断，从而防止在清洗真空腔室时杂质进入检测装置的情况，避免了对检测装置造成污染。此外，由于在关闭真空阀进行清洗时，仅对真空腔室进行清洗，进而相对于真空腔室与检测装置直接连接的情况，可以减小清洗区域，进而节省时间并提升清洗效率。