[实用新型]机台连接结构

权利要求书

1.一种机台连接结构，其特征在于，包括：

真空腔室，所述真空腔室设置在所述机台内部，所述真空腔室具有与其内部连通的出口部；

检测装置，所述检测装置能够测量真空度；

真空阀，所述真空阀与所述真空腔室和所述检测装置连通，所述真空阀能在打开与关闭时使得真空腔室与检测装置之间处于连通或隔断状态。

2.根据权利要求1所述的机台连接结构，其特征在于，包括机架，所述机架与所述机台固定连接，所述检测装置和所述真空阀均与所述机架的上表面抵接。

3.根据权利要求2所述的机台连接结构，其特征在于，所述机架包括：

托架本体，所述托架本体沿真空阀和检测装置之间的排列方向延伸；

连接板，所述连接板与所述托架本体的侧部固定连接，所述连接板与所述机台螺纹连接；

第一支撑平台，所述第一支撑平台与所述托架本体的上部固定连接，所述第一支撑平台与所述真空阀的下底面抵接；

第二支撑平台，所述第二支撑平台与所述托架本体的上部固定连接，所述第二支撑平台与所述检测装置的下底面抵接。

4.根据权利要求3所述的机台连接结构，其特征在于，所述第一支撑平台开设有第一连接孔，所述第一连接孔用于将所述第一支撑平台和所述真空阀螺纹连接。

5.根据权利要求3所述的机台连接结构，其特征在于，所述第二支撑平台开设有第二连接孔，所述第二连接孔用于将所述第二支撑平台和所述检测装置螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的机台连接结构，其特征在于，所述真空阀包括第一接口和第二接口，所述第一接口与所述出口部对接，所述第二接口与所述检测装置对接。

7.根据权利要求6所述的机台连接结构，其特征在于，所述第一接口与所述出口部之间和所述第二出口与所述检测装置之间均设置有密封圈。