[实用新型]检测装置和检测设备有效
| 申请号： | 202122637056.6 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216117384U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 范铎;刘健鹏;陈鲁;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张娜 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种检测装置和检测设备。检测装置包括主体、第一探测器、第二探测器、第一旋转调节机构和平移调节机构，第一探测器和第二探测器均安装在主体上且第一探测器和第二探测器并排设置。第一旋转调节机构用于驱动第二探测器相对主体绕第二探测器的光轴转动以调节第二探测器的成像角度，以使第二探测器的成像角度与第一探测器的成像角度相同。平移调节机构用于调节第二探测器与主体的相对位置以使第二探测器的拍摄视场中心与第一探测器的拍摄视场中心重合。如此，可通过第一旋转调节机构和平移调节机构来使得第二探测器与第一探测器的成像角度相同以及使两者的拍摄视场中心重合，保证第一探测器和第二探测器可以精准地对准晶圆的同一位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 设备 | ||
【主权项】：
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