[实用新型]检测装置和检测设备有效
| 申请号: | 202122637056.6 | 申请日: | 2021-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN216117384U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
| 发明(设计)人: | 范铎;刘健鹏;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张娜 |
| 地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 设备 | ||
1.一种检测装置,其特征在于,包括:
主体;
第一探测器,所述第一探测器安装在所述主体上;
第二探测器,所述第二探测器安装在所述主体上,其中,所述第一探测器和所述第二探测器并排设置;
第一旋转调节机构,所述第一旋转调节机构连接所述第二探测器,所述第一旋转调节机构用于驱动所述第二探测器相对所述主体绕所述第二探测器的光轴转动以调节所述第二探测器的成像角度,以使所述第二探测器的成像角度与所述第一探测器的成像角度相同;和
平移调节机构,所述平移调节机构连接所述第二探测器,所述平移调节机构用于调节所述第二探测器与所述主体的相对位置以使所述第二探测器的拍摄视场中心与所述第一探测器的拍摄视场中心重合。
2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述平移调节机构包括第一平移调节单元、第二平移调节单元和第三平移调节单元;
所述第一平移调节单元连接所述第二探测器且用于沿第一方向调节所述第二探测器与所述主体的相对位置;
所述第二平移调节单元连接所述第二探测器且用于沿第二方向调节所述第二探测器与所述主体的相对位置;
所述第三平移调节单元连接所述第二探测器且用于沿第三方向调节所述第二探测器与所述主体的相对位置;
其中,所述第三方向与所述第二探测器的光轴方向平行,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相互正交。
3.根据权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述第二探测器安装所述第一旋转调节机构上,所述第一旋转调节机构安装在所述第一平移调节单元上,所述第一平移调节单元安装在所述第二平移调节单元上,所述第二平移调节单元安装在所述第三平移调节单元上,所述第三平移调节单元安装在所述主体上;
所述第一平移调节单元用于带动所述第二探测器沿所述第一方向移动;
所述第二平移调节单元用于带动所述第一平移调节单元和所述第二探测器沿所述第二方向移动;
所述第三平移调节单元用于带动所述第二平移调节单元、所述第一平移调节单元和所述第二探测器沿所述第三方向移动。
4.根据权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述第一平移调节单元包括第一微分头,所述第一微分头用于在所述第一方向上调节所述第二探测器的位置,所述第二平移调节单元包括第二微分头,所述第二微分头用于在所述第二方向上调节所述第二探测器的位置,所述第三平移调节单元包括第三微分头,所述第三微分头用于在所述第三方向上调节所述第二探测器的位置。
5.据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述第一旋转调节机构包括第一底座、第一旋转座和第一旋转调节单元,所述第一底座安装在所述平移调节机构上,所述第一旋转座安装在所述第一底座上,所述第二探测器安装在所述第一旋转座上,所述第一旋转调节单元安装在所述第一底座上且连接所述第一旋转座,所述第一旋转调节单元用于调节所述第一旋转座相对所述第一底座的旋转角度以调节所述第二探测器的成像角度。
6.据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述第一旋转座上形成有第一锁紧结构,所述第一旋转座通过所述第一锁紧结构安装在所述第一底座上。
7.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括第二旋转调节机构,所述第二旋转调节机构连接所述第一探测器,所述第二旋转调节机构用于驱动所述第一探测器相对所述主体绕所述第一探测器的光轴转动以调节所述第一探测器的成像角度。
8.根据权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述第二旋转调节机构包括第二底座、第二旋转座和第二旋转调节单元,所述第二底座固定安装在所述主体上,所述第二旋转座安装在所述第二底座上,所述第二探测器安装在所述第二旋转座上,所述第二旋转调节单元安装在所述第二底座上且连接所述第二旋转座,所述第二旋转调节单元用于调节所述第二旋转座相对所述第二底座的旋转角度以调节所述第一探测器的成像角度。
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