[实用新型]镍烧结防氧化装置

摘要

本实用新型提供了一种镍烧结防氧化装置，涉及半导体器件加工技术领域。所述镍烧结防氧化装置包括：下盒和上盖；下盒的顶面开设有向下延伸的放置槽，放置槽底部开设有贯穿下盒的出气孔；上盖的底面开设有向上延伸的容纳槽，上盖开设有连通容纳槽内外的进气孔；上盖与下盒盖合。晶圆竖立放置在由放置槽和容纳槽构成的空间内，进炉前，炉管提前充满氮气并保持一定的流量；镍烧结防氧化装置从进气孔冲入氮气，将空气从出气孔排出，然后放置在炉口，预热后推入炉中，能够保证晶圆在镀镍的过程中周围被氮气包围，有效防止镍氧化。