[实用新型]镍烧结防氧化装置有效
| 申请号： | 202122634524.4 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216192701U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;李建利;汪曦凌 | 申请（专利权）人： | 安徽芯旭半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/32 | 分类号： | C23C18/32;H01L23/488 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 齐葵 |
| 地址： | 247100 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烧结 氧化 装置 | ||
1.一种镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述镍烧结防氧化装置包括：下盒(10)和上盖(20)；
所述下盒(10)的顶面开设有向下延伸的放置槽(11)，所述放置槽(11)底部开设有贯穿下盒(10)的出气孔(12)；
所述上盖(20)的底面开设有向上延伸的容纳槽(21)，所述上盖(20)开设有连通容纳槽(21)内外的进气孔(22)；
上盖(20)与下盒(10)盖合。
2.如权利要求1所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述放置槽(11)设置为水平延伸的半圆柱槽。
3.如权利要求1所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述放置槽(11)内间隔设置有若干竖向的隔板(30)，所述隔板(30)的两侧与放置槽(11)的内壁连接。
4.如权利要求1所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述下盒(10)的两侧设置有支撑脚(13)，将下盒(10)撑离放置面，将出气孔(12)露出。
5.如权利要求1所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述下盒(10)沿放置槽(11)的开口边沿设置有环状的凸起(14)；所述上盖(20)开设有与凸起(14)对应的卡槽(23)，所述上盖(20)与下盒(10)盖合时，所述凸起(14)容纳在卡槽(23)内。
6.如权利要求1所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述下盒(10)和上盖(20)都设置有吊耳。
7.如权利要求1～6任一所述的镍烧结防氧化装置，其特征在于，所述镍烧结防氧化装置通体采用石英材质。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
