[实用新型]一种晶圆棒加工装置有效
| 申请号： | 202122590161.9 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216329266U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 周汉知;李学良 | 申请（专利权）人： | 四川绿然科技集团有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 阮涛 |
| 地址： | 629000 四川省遂*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种晶圆棒加工装置，包括底板，底板的两端设有切割机构，底板设有一对夹持机构，夹持机构包括安装于底板的调节侧板，调节侧板开设有调节孔，调节侧板安装有调节轴承座，调节轴承座设有调节导杆，调节轴承座安装有调节电机，调节电机的输出轴连接有调节丝杆，调节丝杆设有调节座，调节座的内侧端穿于调节孔，调节座的内侧端安装有夹持背板，夹持背板安装有一对夹持轴承座，位于上端的夹持轴承座安装有夹持电机，夹持电机的输出轴连接有夹持丝杆，夹持丝杆设有一对夹持座，夹持座的外壁均安装有连接件，连接件安装有夹持件。在进行晶圆棒加工时，方便对晶圆棒两端的凸起进行切割，切割时采用了磨损程度较小的金刚石切割绳对晶圆棒进行切割。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆棒 加工 装置 | ||
【主权项】：
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