[实用新型]一种晶圆棒加工装置

权利要求书

1.一种晶圆棒加工装置，其特征在于，包括底板（1），底板（1）的两端设有切割机构（3），底板（1）设有一对夹持机构（2），夹持机构（2）用于晶圆棒的夹持，切割机构（3）用于晶圆棒两端的切割处理；

夹持机构（2）包括安装于底板（1）的调节侧板（20），调节侧板（20）开设有调节孔（200），调节侧板（20）的外壁安装有一对调节轴承座（21），调节轴承座（21）之间设有多根调节导杆（22），位于上端的调节轴承座（21）安装有调节电机（23），调节电机（23）的输出轴连接有调节丝杆（24），调节丝杆（24）设有调节座（25），调节座（25）的内侧端穿于调节孔（200），调节座（25）的内侧端安装有夹持背板（26），夹持背板（26）安装有一对夹持轴承座（27），位于上端的夹持轴承座（27）安装有夹持电机（290），夹持电机（290）的输出轴连接有夹持丝杆（29），夹持丝杆（29）设有一对夹持座（291），夹持座（291）的外壁均安装有连接件（292），连接件（292）安装有夹持件（293）。

2.根据权利要求1所述的晶圆棒加工装置，其特征在于，夹持件（293）的内侧均开口地成形有V形夹槽（294），且V形夹槽（294）内壁设有软质橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的晶圆棒加工装置，其特征在于，夹持丝杆（29）上下两端的螺纹旋向相反。

4.根据权利要求1所述的晶圆棒加工装置，其特征在于，切割机构（3）包括安装于底板（1）一端的上延座（30），上延座（30）上端安装有内推轴承座（300），内推轴承座（300）内设有内推丝套（31），内推丝套（31）的外侧端套设有从动轮（36），底板（1）安装有驱动轴承座（32），驱动轴承座（32）安装有驱动电机（33），驱动电机（33）的输出轴连接有驱动轮（34），驱动轮（34）通过传动带（35）与从动轮（36）连接，内推丝套（31）内设有内推丝杆（37），内推丝杆（37）的内侧端设有安装端板（38），安装端板（38）安装有凹形架（39），凹形架（39）向外延伸地设有一对导向柱（390），导向柱（390）穿于上延座（30），凹形架（39）的内侧设有四个转动轮（391），转动轮（391）外侧套设有切割绳（392），其中一个转动轮（391）连接有切割电机（393）。

5.根据权利要求4所述的晶圆棒加工装置，其特征在于，切割绳（392）为金刚石切割绳。