[实用新型]一种双工位电导率测试仪有效
| 申请号： | 202122580917.1 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN216526033U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/02 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 李竞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种双工位电导率测试仪，属于半导体材料性能参数测试技术领域，包括底板、设于底板上的工作台和龙门框架，工作台下方设有电机，龙门框架上设有移动滑轨和升降气缸，升降气缸上设有第一电磁测试探头、激光位移传感器和第二电磁测试探头，在工作台上设有凹槽，凹槽内设有第三电磁测试探头，待测样品置于工作台上方，电机可带动工作台进行旋转，移动滑轨带动测试探头进行水平移动，升降气缸带动测试探头进行垂直移动。该电导率测试仪可对半导体材料上的不同位点的电导率进行测量，同时可实现双工位测量，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双工 电导率 测试仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于九域半导体科技（苏州）有限公司，未经九域半导体科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122580917.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种半导体材料自动翻面装置
- 下一篇：一种DP转HDMI高速传输转接头
