[实用新型]一种双工位电导率测试仪有效

专利信息
申请号: 202122580917.1 申请日: 2021-10-26
公开(公告)号: CN216526033U 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 党小锋;刘全义;张月兰 申请(专利权)人: 九域半导体科技(苏州)有限公司
主分类号: G01R27/02 分类号: G01R27/02;G01R1/02
代理公司: 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 代理人: 李竞
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 双工 电导率 测试仪
【权利要求书】:

1.一种双工位电导率测试仪,其特征在于:包括底板、设于底板上的工作台和龙门框架,底板下方设有支架,底板通过支架立于地面上;工作台为圆形台面结构,在工作台的下表面中心位置处设有旋转轴,在底板上与旋转轴相对应的位置处开设有底板通孔,旋转轴穿设于底板通孔内;在底板下方设有电机,电机的转动轴与底板通孔的位置相对应,电机的转动轴穿设于底板通孔内,并与旋转轴之间通过联轴器固定连接;龙门框架包括立柱和横梁,立柱设于底板上方,横梁设于立柱的顶部,工作台位于横梁的下方,在立柱上设有显示屏,在横梁的侧边上设有移动滑轨,移动滑轨上滑动连接设有滑块,滑块上设有升降气缸,升降气缸的活塞杆竖直设置,在升降气缸的活塞杆端部并排安装有第一电磁测试探头、激光位移传感器和第二电磁测试探头,在第一电磁测试探头内设有第一主动线圈和位于第一主动线圈正上方的上被动线圈,在第二电磁测试探头内设有第二主动线圈;在工作台的上表面上开设有凹槽,在凹槽内设有第三电磁测试探头,第三电磁测试探头内设有下被动线圈;所述双工位电导率测试仪还包括控制柜,控制柜分别与电机、滑块、升降气缸、显示屏、第一电磁测试探头、第二电磁测试探头、第三电磁测试探头和激光位移传感器电气连接。

2.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述凹槽包括1个中心凹槽和多个外圈凹槽,中心凹槽位于工作台上表面的中心位置处,外圈凹槽以工作台上表面的中心为圆心呈圆环形均匀分布在中心凹槽的外圈。

3.如权利要求2所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述外圈凹槽的数量≧6。

4.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述第一电磁测试探头内第一主动线圈和上被动线圈之间的距离大于0且小于等于1mm。

5.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述第三电磁测试探头内的下被动线圈距离工作台上表面之间的距离大于0且小于等于1mm。

6.如权利要求2所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:在工作台的内部开设有多个L型折弯孔,L型折弯孔为通孔,L型折弯孔的一端位于工作台的上表面,另一端位于工作台的侧面,L型折弯孔为螺纹孔,L型折弯孔中位于工作台侧面的一端内部螺纹连接有气嘴,气嘴通过气管连接外部抽气机,多个L型折弯孔围绕工作台均匀分布。

7.如权利要求6所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述L型折弯孔的数量与外圈凹槽的数量相等,位于工作台上表面的L型折弯孔的一端以工作台的中心为圆心,在外圈凹槽的外围呈圆环形分布,且与外圈凹槽交错设置。

8.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:在所述活塞杆的端部设有安装平台,第一电磁测试探头、激光位移传感器和第二电磁测试探头依次并排安装在安装平台的下表面上。

9.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述电机为伺服电机,电机的外壳固定在底板的下表面上。

10.如权利要求1所述的双工位电导率测试仪,其特征在于:所述控制柜位于底板下方的地面上。

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