[实用新型]一种半导体材料自动翻面装置有效
| 申请号： | 202122580916.7 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN216525568U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 王佳鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体材料自动翻面装置，属于半导体材料性能参数测试技术领域，半导体材料自动翻面装置设于测试平台上方，测试平台上方还设有半导体材料测试工作台，半导体材料自动翻面装置与半导体材料测试工作台相邻设置，所述半导体材料自动翻面装置包括回转台、机械手和转载台，转载台的外径小于半导体材料的外径，机械手设于回转台的上方，在机械手的臂端设有回转关节，回转关节的端部连接有机械卡爪；机械卡爪可抓取半导体材料并对其进行翻面，可防止对半导体材料的表面造成污染，翻面后的半导体材料可置于转载台上进行中转，可防止半导体材料直接垂直坠落于半导体测试工作台表面，避免机械损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 自动 装置 | ||
【主权项】：
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