[实用新型]一种适用于硅片和硅锭的电导率测试仪有效
| 申请号： | 202122580909.7 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN216525567U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01B11/06;G01R27/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 王佳鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于硅片和硅锭的电导率测试仪，属于半导体材料性能参数测试技术领域，包括基板、工作台和龙门框架，在龙门框架上设有升降气缸，在活塞杆的端部分别设有第一电磁测试探头和激光位移传感器；工作台设于基板上方，工作台的上表面中心位置处开设有凹槽，在凹槽内设有第二电磁测试探头；第一电磁测试探头位于第二电磁测试探头的正上方，第一电磁测试探头内设有主动线圈和上被动线圈，主动线圈位于上被动线圈的正下方，第二电磁测试探头内设有下被动线圈。本实用新型的电导率测试仪可自动判定待测样品为硅片或硅锭，并分别在不同的工作模式下进行电导率测试，测试功能多，同时测试精确度高，操作使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 硅片 电导率 测试仪 | ||
【主权项】：
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