[实用新型]一种半导体清洗装置有效
| 申请号： | 202122569093.8 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN216631846U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 周明 | 申请（专利权）人： | 无锡市安晏克半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京索睿邦知识产权代理有限公司 11679 | 代理人： | 曹蓓蓓 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗装置，其技术方案要点是：包括外壳体，外壳体的内部固定设置有清洗盒，清洗盒的内部固定设置有多个电动导轨，固定架与电动导轨的滑块固定设置，固定架上设置有放置盒，外壳体的内部固定设置有水泵和鼓风机，水泵的进水口与补水管固定接通，水泵的出水口与第一管道和第二管道固定接通，鼓风机的出风口与第三管道固定接通，第一管道延伸入清洗盒的内部，外壳体的后端固定设置固定板，固定板的下端固定设置有管路分流器，第二管道和第三管道与管路分流器的入口固定接通，本实用新型在使用时，溶解了化学物质的清洗液不会粘附在半导体器件上，且可对半导体器件上的清洗液进行风干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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