[实用新型]一种半导体清洗装置

权利要求书

1.一种半导体清洗装置，包括外壳体(1)，其特征在于：所述外壳体(1)的内部固定设置有清洗盒(2)，所述清洗盒(2)的内部固定设置有多个电动导轨(3)，固定架(4)与所述电动导轨(3)的滑块固定设置，所述固定架(4)上设置有放置盒(5)，所述外壳体(1)的内部固定设置有水泵(6)和鼓风机(7)，所述水泵(6)的进水口与补水管(8)固定接通，所述水泵(6)的出水口与第一管道(9)和第二管道(10)固定接通，所述鼓风机(7)的出风口与第三管道(11)固定接通，所述第一管道(9)延伸入所述清洗盒(2)的内部，所述外壳体(1)的后端固定设置固定板(12)，所述固定板(12)的下端固定设置有管路分流器(13)，所述第二管道(10)和所述第三管道(11)与所述管路分流器(13)的入口固定接通，所述外壳体(1)的上端铰链连接有支架(14)，所述支架(14)的下方固定设置有喷管(15)，所述喷管(15)上固定接通有喷头(16)，所述喷管(15)与所述管路分流器(13)的出口通过金属软管固定接通。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述清洗盒(2)的底部固定设置有换能器(17)，所述外壳体(1)的内部固定设置有超声波发生器(18)，所述换能器(17)与所述超声波发生器(18)连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述放置盒(5)使用不锈钢网围成，所述放置盒(5)的内部固定设置有多个隔板，所述隔板纵横交错设置，所述隔板使用不锈钢网制成。

4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述清洗盒(2)的内部设置有水位线(19)，所述水位线(19)与所述清洗盒(2)顶端的距离大于所述放置盒(5)的总高度。

5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述外壳体(1)的左右两端开设有开口，所述开口处固定设置有防尘百叶窗。

6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述清洗盒(2)的底部固定接通有排水管(20)，所述排水管(20)延伸至所述外壳体(1)的外侧。

7.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装置，其特性在于：所述第一管道(9)上设置有第一电磁阀，所述第二管道(10)上设置有第二电磁阀，所述第三管道(11)上设置有第三电磁阀。