[实用新型]一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟有效
| 申请号： | 202122520426.8 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216054614U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡新兴;朱露;张凯胜;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 杨闯 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电池片生产设备技术领域，尤其是涉及一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟，包括两个端板以及固定在两个端板之间的左定杆组、右定杆组与若干中间杆组；左定杆组与位于最左侧的中间杆组之间以及右定杆组与位于最右侧的中间杆组之间均插设有挡片，相邻两个中间杆组之间插设有电池片。铝舟首尾均增加一列挡片可实现气体进入后接触挡片后进行匀流，再依次接触工艺硅片向炉尾流动保证均匀性，可保证气体完整通过工艺硅片后经由挡片再被尾泵管抽走，保证气流量不偏大，有效改善边片的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 ald 沉积 用铝舟 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
