[实用新型]一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟有效
| 申请号： | 202122520426.8 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216054614U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡新兴;朱露;张凯胜;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 杨闯 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 ald 沉积 用铝舟 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于太阳能电池管式ALD沉积用铝舟，其特征是，包括两个呈上下布置的端板(1)以及固定在两个端板(1)之间的左定杆组(2)、右定杆组(3)与若干中间杆组(4)，若干所述中间杆组(4)沿X轴方向间隔布置，所述左定杆组(2)位于最左侧中间杆组(4)的左侧，所述右定杆组(3)位于最右侧中间杆组(4)的右侧；
左定杆组(2)包括沿Y轴方向间隔布置的若干左定杆(21)，所述左定杆(21)右侧沿其轴线方向上间隔分布有若干第一齿槽(211)；
右定杆组(3)包括沿Y轴方向间隔布置的若干右定杆(31)，所述右定杆(31)左侧沿其轴线方向上间隔分布有若干第二齿槽(311)；
中间杆组(4)包括沿Y轴方向间隔布置的若干中间杆(41)，所述中间杆(41)左右两侧沿其轴线方向上均间隔分布有若干第三齿槽(411)；
所述第一齿槽(211)和第二齿槽(311)一一对应，所述第一齿槽(211)和其所相对布置的第三齿槽(411)一一对应；
所述第一齿槽(211)与其所对应的位于最左侧中间杆(41)左侧的第三齿槽(411)之间插设有挡片(5)，所述第二齿槽(311)与其所对应的位于最右侧中间杆(41)右侧的第三齿槽(411)之间插设有挡片(5)，相邻两个中间杆(41)的第三齿槽(411)之间插设有电池片(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
