[实用新型]一种提升PECVD镀膜均匀性的装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产领域，一种提升PECVD镀膜均匀性的装置，该装置安装在PECVD的炉管的口部内侧，包括双层管状结构、加强板，双层管状结构的夹层两端面密封，双层管状结构一端夹层密封面上有小孔，加强板有3‑4块，每块都加强板处于双层管状结构的外侧周壁上，且所有加强板处于同一个圆的圆周上，每块加强板上有一个贯穿加强板和双层管状结构外壁的带内螺纹的第一通孔，PECVD的炉管有与第一通孔配合的带螺纹的第二通孔，进气装置通过连接连接安装在第一通孔和第二通孔上。