[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板有效

专利信息
申请号: 202122480376.5 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN215757608U 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 刘翠翠 申请(专利权)人: 江西汉可泛半导体技术有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L31/20;H01L21/673
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 王焕巧
地址: 332020 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板,包括田字型框架以及四个载板本体,四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部,四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒,所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,该载板由三层减少至二层,降低了自动化的复杂程度,且载板变小后,在冷热过程中的变形量小,延长载板寿命、降低故障率,而且可以对某个小载板进行单独更换,降低运营成本和提高生产效率。
搜索关键词: 一种 单晶硅 异质结 太阳电池 hwcvd 设备
【主权项】:
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