[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，包括田字型框架以及四个载板本体，四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部，四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒，所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后，将四个载板本体与田字型框架组装，两个弧形卡块对圆杆做限位处理，完成载板本体与田字型框架的组装，需要拆卸载板本体时，仅需按压按钮，即可取下，该载板由三层减少至二层，降低了自动化的复杂程度，且载板变小后，在冷热过程中的变形量小，延长载板寿命、降低故障率，而且可以对某个小载板进行单独更换，降低运营成本和提高生产效率。