[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板有效
申请号: | 202122480376.5 | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN215757608U | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 刘翠翠 | 申请(专利权)人: | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/20;H01L21/673 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 王焕巧 |
地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 异质结 太阳电池 hwcvd 设备 | ||
本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板,包括田字型框架以及四个载板本体,四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部,四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒,所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,该载板由三层减少至二层,降低了自动化的复杂程度,且载板变小后,在冷热过程中的变形量小,延长载板寿命、降低故障率,而且可以对某个小载板进行单独更换,降低运营成本和提高生产效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳电池加工技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板。
背景技术
单晶硅异质结太阳电池转换效率高,被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一,单晶硅异质结太阳电池关键镀膜设备有HWCVD和PECVD,其中HWCVD因其较低的制造成本和更高产能而更具竞争力,由于HWCVD设备自身特点,硅片平放载板后需将载板立起来,因此目前HWCVD设备载板主要设计成三层结构,其中硅片被两层镂空载具夹住,然后再悬挂于大载板上。
现有技术存在以下不足:随着设备设计产能增加后,大载板面积增大,长时间使用会变形,导致故障率增加,产品良率下降。
实用新型内容
为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板,通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架1的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板:包括田字型框架以及四个载板本体,四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部,四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒,所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆,且所述圆杆与卡接盒可拆卸连接。
优选的,所述卡接盒的内侧背部中心处滑动设置有两个弧形卡块,且两个弧形卡块与圆杆相适配,所述卡接盒的前侧中心处滑动设置有按钮,所述按钮的背部两侧均设有连杆,且两个所述弧形卡块均与按钮通过连杆活动连接。
优选的,两个弧形卡块相远离的一侧均固定设有支块,所述支块的底部固定设有滑块,且所述支块与卡接盒通过滑块滑动连接。
优选的,所述按钮的背侧固定设有限位板,且所述限位板与按钮固定连接。
优选的,所述限位板的背侧中心处固定设有弹簧,且所述限位板与卡接盒通过弹簧连接。
优选的,所述卡接盒的内部开设有凹槽,且所述支块以及弧形卡块均嵌入设置在凹槽中。
本实用新型的技术效果和优点:
本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,该载板由三层减少至二层,降低了自动化的复杂程度,且载板变小后,在冷热过程中的变形量小,延长载板寿命、降低故障率,而且可以对某个小载板进行单独更换,降低运营成本和提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型卡接盒的横剖结构示意图。
图3为本实用新型弧形卡块的局部结构示意图。
附图标记为:1、田字型框架;2、载板本体;3、卡接盒;4、圆杆;5、弧形卡块;6、支块;7、限位板;8、连杆;9、弹簧;10、按钮;11、滑块。
具体实施方式
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的