[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板有效

专利信息
申请号: 202122480376.5 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN215757608U 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 刘翠翠 申请(专利权)人: 江西汉可泛半导体技术有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L31/20;H01L21/673
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 王焕巧
地址: 332020 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 异质结 太阳电池 hwcvd 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板,包括田字型框架以及四个载板本体,四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部,四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒,所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,该载板由三层减少至二层,降低了自动化的复杂程度,且载板变小后,在冷热过程中的变形量小,延长载板寿命、降低故障率,而且可以对某个小载板进行单独更换,降低运营成本和提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳电池加工技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板。

背景技术

单晶硅异质结太阳电池转换效率高,被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一,单晶硅异质结太阳电池关键镀膜设备有HWCVD和PECVD,其中HWCVD因其较低的制造成本和更高产能而更具竞争力,由于HWCVD设备自身特点,硅片平放载板后需将载板立起来,因此目前HWCVD设备载板主要设计成三层结构,其中硅片被两层镂空载具夹住,然后再悬挂于大载板上。

现有技术存在以下不足:随着设备设计产能增加后,大载板面积增大,长时间使用会变形,导致故障率增加,产品良率下降。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板,通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架1的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板:包括田字型框架以及四个载板本体,四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部,四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒,所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆,且所述圆杆与卡接盒可拆卸连接。

优选的,所述卡接盒的内侧背部中心处滑动设置有两个弧形卡块,且两个弧形卡块与圆杆相适配,所述卡接盒的前侧中心处滑动设置有按钮,所述按钮的背部两侧均设有连杆,且两个所述弧形卡块均与按钮通过连杆活动连接。

优选的,两个弧形卡块相远离的一侧均固定设有支块,所述支块的底部固定设有滑块,且所述支块与卡接盒通过滑块滑动连接。

优选的,所述按钮的背侧固定设有限位板,且所述限位板与按钮固定连接。

优选的,所述限位板的背侧中心处固定设有弹簧,且所述限位板与卡接盒通过弹簧连接。

优选的,所述卡接盒的内部开设有凹槽,且所述支块以及弧形卡块均嵌入设置在凹槽中。

本实用新型的技术效果和优点:

本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后,将四个载板本体与田字型框架组装,两个弧形卡块对圆杆做限位处理,完成载板本体与田字型框架的组装,需要拆卸载板本体时,仅需按压按钮,即可取下,该载板由三层减少至二层,降低了自动化的复杂程度,且载板变小后,在冷热过程中的变形量小,延长载板寿命、降低故障率,而且可以对某个小载板进行单独更换,降低运营成本和提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型卡接盒的横剖结构示意图。

图3为本实用新型弧形卡块的局部结构示意图。

附图标记为:1、田字型框架;2、载板本体;3、卡接盒;4、圆杆;5、弧形卡块;6、支块;7、限位板;8、连杆;9、弹簧;10、按钮;11、滑块。

具体实施方式

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