[实用新型]一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板有效
| 申请号： | 202122480376.5 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN215757608U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 刘翠翠 | 申请（专利权）人： | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L31/20;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 王焕巧 |
| 地址： | 332020 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 异质结 太阳电池 hwcvd 设备 | ||
1.一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：包括田字型框架(1)以及多个载板本体(2)，所述载板本体(2)呈矩阵阵列分布在田字型框架(1)的内部，所述载板本体(2)与田字型框架(1)间连接有方便载板本体(2)拆卸的卡接组件。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述载板本体(2)的顶部中心处可拆卸设置有卡接组件，所述田字型框架(1)内侧顶部以及中部均固定设有圆杆(4)，且所述圆杆(4)与卡接组件可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述卡接组件包括卡接盒(3)，所述卡接盒(3)的内侧背部中心处滑动设置有两个弧形卡块(5)，且两个弧形卡块(5)与圆杆(4)相适配，所述卡接盒(3)的前侧中心处滑动设置有按钮(10)，所述按钮(10)的背部两侧均设有连杆(8)，且两个所述弧形卡块(5)均与按钮(10)通过连杆(8)活动连接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：两个弧形卡块(5)相远离的一侧均固定设有支块(6)，所述支块(6)的底部固定设有滑块(11)，且所述支块(6)与卡接盒(3)通过滑块(11)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述按钮(10)的背侧固定设有限位板(7)，且所述限位板(7)与按钮(10)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述限位板(7)的背侧中心处固定设有弹簧(9)，且所述限位板(7)与卡接盒(3)通过弹簧(9)连接。
7.根据权利要求4所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述卡接盒(3)的内部开设有凹槽，且所述支块(6)以及弧形卡块(5)均嵌入设置在凹槽中。
8.根据权利要求1所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述载板本体(2)至少设置为四个。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
