[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 202122444802.X | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN216514092U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘毅;黄鹏飞 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括镀膜腔，镀膜腔的底部安装有坩埚和电子枪，镀膜腔的顶部旋转安装有自转架，自转架由旋转动力装置驱动，镀膜腔的一侧设置有冷却腔体，冷却腔体上固定有冷泵连接法兰，冷泵连接法兰上设置有抽气口，冷却腔体内在冷泵连接法兰处安装有阀座，该阀座将冷却腔体分隔成第一腔室和第二腔室，冷泵连接法兰的外部安装有与第二腔室联通的冷泵，冷却腔体上滑动有阀瓣，阀瓣由第一开闭动力装置驱动；冷却腔体上设置有与第一腔室联通的抽真空管接口，所述抽真空管接口与抽真空系统连通。该真空镀膜机真空的形成时间更短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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