[实用新型]一种真空镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜机，包括镀膜腔，其特征在于：所述镀膜腔为立式镀膜腔，镀膜腔的底部安装有用于放置靶材的坩埚和用于对靶材进行加热的电子枪，所述镀膜腔的顶部旋转安装有用于放置基片的自转架，所述自转架由旋转动力装置驱动，所述镀膜腔的一侧设置有冷却腔体，所述冷却腔体上固定有冷泵连接法兰，所述冷泵连接法兰上设置有方便对冷泵抽气的抽气口，所述冷却腔体内在冷泵连接法兰处安装有阀座，该阀座将冷却腔体分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与镀膜腔内腔连通，所述冷泵连接法兰的外部安装有与第二腔室联通的冷泵，所述冷却腔体上滑动有阀瓣，所述阀瓣由第一开闭动力装置驱动与阀座相互密封配合；所述冷却腔体上设置有与第一腔室联通的抽真空管接口，所述抽真空管接口与抽真空系统连通。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔的内壁上设置有若干个连接螺柱，每个防护板上均设置有与连接螺柱对应的安装孔，所述连接螺柱贯穿所述安装孔后并通过螺母压紧所述防护板。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板。

5.如权利要求1至4任一项所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述的镀膜腔的侧壁上还设置有安装腔室，所述安装腔室上固定有冷头和与冷头相连接的冷凝板，所述冷凝板处于安装腔室内，所述安装腔室上滑动安装有将安装腔室封堵或打开的封堵防护板，该封堵防护板由第二开闭动力装置驱动。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔的顶部固定有上腔体，所述自转架和旋转动力装置安装于所述上腔体上，所述上腔体上位于自转架的外侧四周布置有若干套用于遮挡自转架上的部分基片的遮挡机构。

7.如权利要求6所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述遮挡机构包括固定于上腔体上的支座，所述支座上摆动安装有摆杆，所述摆杆上固定有遮挡片，所述摆杆由偏摆动力装置驱动偏摆。

8.如权利要求7所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述偏摆动力装置包括竖直安装于上腔体上的直线动力装置，所述直线动力装置的输出端固定有驱动齿条，所述摆杆的一端设置有与驱动齿条啮合的齿轮，所述支座上设置有限制摆杆摆动角度的限位块。

9.如权利要求5所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述冷泵连接法兰上设置有用于安装温度传感器和压力传感器的安装口。

10.如权利要求5所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述坩埚的数量为多个设置在一个旋转座上，所述旋转座转动安装在底座上，所述底座上安装有驱动所述旋转座旋转的电机，所述电子枪安装于所述底座上，所述底座通过若干根第一支撑螺柱固定于底板上，所述镀膜腔的底部设下安装口，所述底板可拆卸安装于所述下安装口处，所述底板上还固定有若干根第二支撑螺柱，所述第二支撑螺柱上可拆卸固定有下封板，该下封板上设置有与坩埚位置对应的逸出孔。