[实用新型]一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构有效
申请号: | 202122424959.6 | 申请日: | 2021-10-09 |
公开(公告)号: | CN216399537U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 高贵斌 | 申请(专利权)人: | 北京中科科美科技股份有限公司 |
主分类号: | B25H1/02 | 分类号: | B25H1/02;B25H1/20;F16M11/04;F16M11/20 |
代理公司: | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人: | 张朝元 |
地址: | 102206 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构,包括平台支腿,平台支腿由轴和法兰二组成,平台支腿顶端安装有波纹管,波纹管由法兰三、弹性件和法兰四组成,波纹管顶端安装有法兰一,法兰一顶端安装有不锈钢管路,不锈钢管路顶端设有真空室,真空室室内安装有承载平台,承载平台底部侧壁设有支腿套。该种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构,把真空室与真空室内承载平台做成分离式结构,避免了相互之间的震动干扰,可以提高结构的精度,采用独特的锥形定位方式,大大降低了结构的安装难度,结构简单,加工、安装、调节、维护方便,保证了真空室的密封性,该结构可以广泛应用于真空室内有承载类平台的多种真空设备中。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 室内 承载 平台 穿越 支撑 结构 | ||
【主权项】:
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