[实用新型]一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构

说明书

本实用新型公开了一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿，平台支腿由轴和法兰二组成，平台支腿顶端安装有波纹管，波纹管由法兰三、弹性件和法兰四组成，波纹管顶端安装有法兰一，法兰一顶端安装有不锈钢管路，不锈钢管路顶端设有真空室，真空室室内安装有承载平台，承载平台底部侧壁设有支腿套。该种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，把真空室与真空室内承载平台做成分离式结构，避免了相互之间的震动干扰，可以提高结构的精度，采用独特的锥形定位方式，大大降低了结构的安装难度，结构简单，加工、安装、调节、维护方便，保证了真空室的密封性，该结构可以广泛应用于真空室内有承载类平台的多种真空设备中。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体为一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构。

背景技术

在真空系统中，往往真空室内会有承载平台等机构，若承载平台直接焊接或者安装在真空室中，真空室的加工、装配、维修等会存在很多问题，难度较大。

尤其是在高精度真空系统中，外在的震动会随真空室传递到真空室内的承载平台上，影响设备的精度。若是真空室内的承载平台与真空室是分离机构，则会涉及到真空室的密封问题以及真空室内承载平台的安装等难题。因此我们对此做出改进，提出一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿，所述平台支腿由轴和法兰二组成，所述平台支腿顶端安装有波纹管，所述波纹管由法兰三、弹性件和法兰四组成，所述波纹管顶端安装有法兰一，所述法兰一顶端安装有不锈钢管路，所述不锈钢管路顶端设有真空室，所述真空室室内安装有承载平台，所述承载平台底部侧壁设有支腿套。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述轴竖立安装在平台支腿底部，所述法兰二安装在平台支腿顶部，所述法兰二与轴焊接固定，且轴顶端贯穿延伸至真空室内部，所述轴顶端为圆锥面过渡的阶梯轴，且圆锥粗端为光轴、细端带螺纹。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述法兰一、法兰二和法兰四均为CF法兰，所述法兰三为CF松套法兰。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述法兰四与法兰三分别安装在波纹管上下两端，所述法兰四与法兰三分别与法兰一和法兰二适配吻合形成密封，并通过螺栓连接固定。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弹性件固定安装在波纹管内部中心，所述不锈钢管路底部与法兰一顶端焊接焊接连接，且不锈钢管路顶端与真空室底端焊接连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述承载平台位于真空室内部，且承载平台与真空室为分离结构，并相互之间不连接，所述真空室设有独立支撑机架。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支腿套螺纹连接安装在承载平台底壁上，所述支腿套底端中心向内凹陷设有锥形孔，且锥形孔内壁上设有螺纹，所述支腿套底部与平台支腿和轴的顶端接触，且支腿套通过锥形孔与轴圆锥面螺纹连接。

本实用新型的有益效果是：该实用新型结构把真空室与真空室内承载平台做成分离式结构，避免了相互之间的震动干扰，可以提高结构的精度，采用独特的锥形定位方式，大大降低了结构的安装难度，结构简单，加工、安装、调节、维护方便，保证了真空室的密封性，该结构可以广泛应用于真空室内有承载类平台的多种真空设备中。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构的示意图；

图2是本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构的法兰结构放大图。