[实用新型]一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构

权利要求书

1.一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿（1），其特征在于，所述平台支腿（1）由轴（8）和法兰二（9）组成，所述平台支腿（1）顶端安装有波纹管（2），所述波纹管（2）由法兰三（10）、弹性件（12）和法兰四（11）组成，所述波纹管（2）顶端安装有法兰一（3），所述法兰一（3）顶端安装有不锈钢管路（4），所述不锈钢管路（4）顶端设有真空室（5），所述真空室（5）室内安装有承载平台（7），所述承载平台（7）底部侧壁设有支腿套（6）。

2.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述轴（8）竖立安装在平台支腿（1）底部，所述法兰二（9）安装在平台支腿（1）顶部，所述法兰二（9）与轴（8）焊接固定，且轴（8）顶端贯穿延伸至真空室（5）内部，所述轴（8）顶端为圆锥面过渡的阶梯轴，且圆锥粗端为光轴、细端带螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述法兰一（3）、法兰二（9）和法兰四（11）均为CF法兰，所述法兰三（10）为CF松套法兰。

4.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述法兰四（11）与法兰三（10）分别安装在波纹管（2）上下两端，所述法兰四（11）与法兰三（10）分别与法兰一（3）和法兰二（9）适配吻合形成密封，并通过螺栓连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述弹性件（12）固定安装在波纹管（2）内部中心，所述不锈钢管路（4）底部与法兰一（3）顶端焊接连接，且不锈钢管路（4）顶端与真空室（5）底端焊接连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述承载平台（7）位于真空室（5）内部，且承载平台（7）与真空室（5）为分离结构，并相互之间不连接，所述真空室（5）设有独立支撑机架。

7.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述支腿套（6）螺纹连接安装在承载平台（7）底壁上，所述支腿套（6）底端中心向内凹陷设有锥形孔，且锥形孔内壁上设有螺纹，所述支腿套（6）底部与平台支腿（1）和轴（8）的顶端接触，且支腿套（6）通过锥形孔与轴（8）圆锥面螺纹连接。