[实用新型]一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具有效
| 申请号: | 202122293252.6 | 申请日: | 2021-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN214503816U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
| 发明(设计)人: | 洪斌 | 申请(专利权)人: | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人: | 洪渊源;苏秋桂 |
| 地址: | 362100 福建省泉州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,涉及半导体光电子技术领域,包括支架和探针固定器,探针固定器可调节地设置于支架,并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。需要更换探针时,用探针固定器夹持探针,并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换,操作简单方便,有效提高了探针的更换速率,并且能避免因人为因素而造成的探针损伤,充分降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 半导体 芯片 测试 系统 探针 夹具 | ||
【主权项】:
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