[实用新型]一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具

说明书

本实用新型公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，涉及半导体光电子技术领域，包括支架和探针固定器，探针固定器可调节地设置于支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。需要更换探针时，用探针固定器夹持探针，并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体光电子技术领域，特别涉及一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。

背景技术

一个完整的半导体芯片的生产工艺大致包括半导体材料生长、外延结构表征、芯片工艺、封装和性能测试等环节，其中性能测试是半导体芯片的重要生产环节，对芯片产品最终的性能、质量和可靠性都有重大的影响。

目前，诸如光电探测器（PD）芯片和垂直腔面发射激光器（VCSEL）芯片等光通讯芯片的测试设备在更换探针时，需要用镊子手动夹取探针后，再放入测试设备探针针座中，期间拿镊子夹取芯粒的手必须保持不动，否则探针无法进行固定。但是由于探针造价昂贵且为精密元器件，其体积微小极易受损，故在手动换针过程中为防止探针受损需要小心翼翼，操作极其不便，并且更换效率极低。

实用新型内容

本实用新型提供一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其主要目的在于解决现有半导体芯片测试设备的手动换针方式存在的操作不便，效率低下等问题。

本实用新型采用如下技术方案：

一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括支架和探针固定器；所述探针固定器可调节地设置于所述支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部。

进一步，所述探针固定器包括壳体和活动杆，所述活动杆的左端可左右移动地设置于所述壳体内，右端延伸至壳体外部，并设有一卡钩；所述卡钩与壳体之间形成所述夹持部。

更进一步，还包括驱动组件；所述驱动组件包括活动帽盖和弹簧，所述活动帽盖固定连接于所述活动杆，并通过所述弹簧可左右移动地设置于所述壳体左端。

再进一步，所述活动杆包括螺纹连接的第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定连接于所述活动帽盖，所述第二杆体设有所述卡钩；所述壳体右端可拆卸地设有一固定帽盖，该固定帽盖与卡钩之间形成所述夹持部。

进一步，所述支架包括底座、连接杆和夹爪，所述连接杆的一端固设于所述底座，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器的所述夹爪。

更进一步，所述连接杆包括伸缩杆、弯折管和球销，所述弯折管的一端通过伸缩杆连接于所述底座，另一端通过球销连接于所述夹爪。

更进一步，所述底座为磁吸底座。

和现有技术相比，本实用新型产生的有益效果在于：

本实用新型的探针夹具包括支架和探针固定器，需要更换探针时，用探针固定器夹持探针，并将支架固定于半导体芯片测试设备的探针座旁侧即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，并且能避免因人为因素而造成的探针损伤，充分降低了测试成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中探针固定器的结构示意图。

图3为本实用新型中探针固定器的截面示意图一。

图4为本实用新型中探针固定器的截面示意图二。

具体实施方式

下面参照附图说明本实用新型的具体实施方式。为了全面理解本实用新型，下面描述到许多细节，但对于本领域技术人员来说，无需这些细节也可实现本实用新型。