[实用新型]一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具有效
| 申请号： | 202122293252.6 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN214503816U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 洪斌 | 申请（专利权）人： | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所(普通合伙) 35213 | 代理人： | 洪渊源;苏秋桂 |
| 地址： | 362100 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 半导体 芯片 测试 系统 探针 夹具 | ||
1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：包括支架和探针固定器；所述探针固定器可调节地设置于所述支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部；所述探针固定器包括壳体和活动杆，所述活动杆的左端可左右移动地设置于所述壳体内，右端延伸至壳体外部，并设有一卡钩；所述卡钩与壳体之间形成所述夹持部。
2.如权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：还包括驱动组件；所述驱动组件包括活动帽盖和弹簧，所述活动帽盖固定连接于所述活动杆，并通过所述弹簧可左右移动地设置于所述壳体左端。
3.如权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述活动杆包括螺纹连接的第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定连接于所述活动帽盖，所述第二杆体设有所述卡钩；所述壳体右端可拆卸地设有一固定帽盖，该固定帽盖与卡钩之间形成所述夹持部。
4.如权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述支架包括底座、连接杆和夹爪，所述连接杆的一端固设于所述底座，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器的所述夹爪。
5.如权利要求4所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述连接杆包括伸缩杆、弯折管和球销，所述弯折管的一端通过伸缩杆连接于所述底座，另一端通过球销连接于所述夹爪。
6.如权利要求4所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述底座为磁吸底座。
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