[实用新型]一种CVD法制备碳纳米管进气喷口有效

专利信息
申请号: 202122264297.0 申请日: 2021-09-17
公开(公告)号: CN215439686U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 张立琦;张文彪;刘凌谚;宋振兴 申请(专利权)人: 天津朗缪新材料科技有限公司
主分类号: C01B32/16 分类号: C01B32/16
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 姜宇
地址: 300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区兰苑路*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 本申请提供了一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,属于化学气相沉积炉技术领域。该一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,包括炉体和混合件。所述混合件包括抽气泵、混合箱、第一进气管和第二进气管,所述抽气泵出气端与所述炉体连通,所述混合辊与所述进气槽出气口对应设置,所述混合箱内固定连接有混合球,所述混合球与所述第一进气管出气端对应设置,所述出气槽与所述混合箱之间均间隔分布有出气孔,且所述抽气泵进气端与所述出气槽连通。通过本装置的设计,整体设计优化常规的炉体的设计,使其在实际使用时,可以对通入的气体进行充分的混合,降低影响反应的效果,同时,一定程度上避免对品质的影响。
搜索关键词: 一种 cvd 法制 纳米 管进气 喷口
【主权项】:
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