[实用新型]一种CVD法制备碳纳米管进气喷口有效
申请号: | 202122264297.0 | 申请日: | 2021-09-17 |
公开(公告)号: | CN215439686U | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 张立琦;张文彪;刘凌谚;宋振兴 | 申请(专利权)人: | 天津朗缪新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/16 | 分类号: | C01B32/16 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 姜宇 |
地址: | 300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区兰苑路*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 法制 纳米 管进气 喷口 | ||
1.一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,包括
炉体(100);
混合件(200),所述混合件(200)包括抽气泵(210)、混合箱(220)、第一进气管(230)和第二进气管(240),所述抽气泵(210)出气端与所述炉体(100)连通,所述第一进气管(230)连通于所述混合箱(220)底部,所述混合箱(220)内分别开设有进气槽(224)和出气槽(226),所述进气槽(224)与所述第二进气管(240)连通,所述混合箱(220)内转动连接有混合辊(223),所述混合辊(223)与所述进气槽(224)出气口对应设置,所述混合箱(220)内固定连接有混合球(225),所述混合球(225)与所述第一进气管(230)出气端对应设置,所述出气槽(226)与所述混合箱(220)之间均间隔分布有出气孔(2261),且所述抽气泵(210)进气端与所述出气槽(226)连通。
2.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述抽气泵(210)底部设置有支撑块(211),所述支撑块(211)固定连接于所述炉体(100)侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述混合箱(220)侧壁设置有压力表(221),所述压力表(221)一端贯穿于所述混合箱(220)且延伸至内部。
4.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述混合箱(220)底部四周均固定连接有支撑腿(222)。
5.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述混合辊(223)包括辊体(2231)和支撑叶(2232),所述辊体(2231)转动连接于所述混合箱(220)内,所述支撑叶(2232)等角度分布于所述辊体(2231)外壁。
6.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述混合球(225)包括球体(2251),所述球体(2251)固定连接于所述混合箱(220)内,且所述球体(2251)外壁开设有通孔(2252)。
7.根据权利要求6所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述球体(2251)底部开设有缺口(2253),所述缺口(2253)与所述通孔(2252)连通,且所述缺口(2253)与所述第一进气管(230)出气端对应设置。
8.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述进气槽(224)底部间隔分布有排气孔(2241),所述排气孔(2241)与所述混合箱(220)连通。
9.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述出气槽(226)侧壁连通有出气管(227),所述出气管(227)与所述抽气泵(210)进气端连通。
10.根据权利要求1所述的一种CVD法制备碳纳米管进气喷口,其特征在于,所述第一进气管(230)外壁设置有第一止回阀(231),所述第二进气管(240)外部设置有第二止回阀(241)。
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