[实用新型]用于前开式晶圆传送盒的机台及储存设备有效

专利信息
申请号: 202122251929.X 申请日: 2021-09-16
公开(公告)号: CN217035605U 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 王晓侠;蒲浩 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 代理人: 张琦
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请公开了一种用于前开式晶圆传送盒的机台及储存设备,包括若干个承载台,每一所述承载台均包括:承载座,用于承载前开式晶圆传送盒;第一气嘴,设置于所述承载座;第二气嘴,设置于所述承载座,所述第一气嘴和所述第二气嘴中的至少一个可移动设置于所述承载座;所述第一气嘴和所述第二气嘴中的一个为具有排气功能的气嘴,另一个为具有充气功能的气嘴。本实用新型的第一气嘴和第二气嘴中的至少一个可以移动,使得第一气嘴与第二气嘴之间的相对位置可以调节,以此可以给不同类型的前开式晶圆传动盒进行换气作业。
搜索关键词: 用于 前开式晶圆 传送 机台 储存 设备
【主权项】:
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