[实用新型]用于前开式晶圆传送盒的机台及储存设备

权利要求书

1.一种用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，包括若干个承载台，每一所述承载台均包括：

承载座，用于承载前开式晶圆传送盒；

第一气嘴，设置于所述承载座；

第二气嘴，设置于所述承载座，所述第一气嘴和所述第二气嘴中的至少一个可移动设置于所述承载座；

所述第一气嘴和所述第二气嘴中的一个为具有排气功能的气嘴，另一个为具有充气功能的气嘴。

2.根据权利要求1所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括第一滑块，所述第一滑块沿第一预设方向滑动设置于所述承载座；

所述第一气嘴沿第二预设方向滑动设置于所述第一滑块，所述第一预设方向与所述第二预设方向垂直。

3.根据权利要求2所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括第二滑块，所述第二滑块沿第一预设方向滑动设置于所述承载座；所述第二气嘴沿所述第二预设方向滑动设置于所述第二滑块。

4.根据权利要求3所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括：

第三气嘴，所述第三气嘴沿所述第二预设方向滑动设置于所述第一滑块。

5.根据权利要求4所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括：

第四气嘴，所述第四气嘴沿所述第二预设方向滑动设置于所述第二滑块，所述第三气嘴和所述第四气嘴中的一个为具有排气功能的气嘴，另一个为具有充气功能的气嘴。

6.根据权利要求5所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，所述第一气嘴和所述第三气嘴为充气气嘴，所述第二气嘴和所述第四气嘴为排气气嘴。

7.根据权利要求5所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，所述第一气嘴、所述第二气嘴、所述第三气嘴及所述第四气嘴均为充排两用气嘴。

8.根据权利要求5-7任一项所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括：

第一固定座，设置于所述第一气嘴和所述第一滑块之间，所述第一气嘴通过所述第一固定座滑动设置于所述第一滑块，所述第一气嘴与所述第一固定座可拆卸连接；

第二固定座，设置于所述第二气嘴和所述第二滑块之间，所述第二气嘴通过所述第二固定座滑动设置于所述第二滑块，所述第二气嘴与所述第二固定座可拆卸连接；

第三固定座，设置于所述第三气嘴和所述第一滑块之间，所述第三气嘴通过所述第三固定座滑动设置于所述第一滑块，所述第三气嘴与所述第三固定座可拆卸连接；

第四固定座，设置于所述第四气嘴和所述第二滑块之间，所述第四气嘴通过所述第四固定座滑动设置于所述第二滑块，所述第四气嘴与所述第四固定座可拆卸连接。

9.根据权利要求5-7任一项所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，其特征在于，每一所述承载台还包括：

锁紧件，所述第一滑块、所述第二滑块、所述第一气嘴、所述第二气嘴、所述第三气嘴及所述第四气嘴上均设置有所述锁紧件，所述锁紧件用于将所述第一滑块、所述第二滑块、所述第一气嘴、所述第二气嘴、所述第三气嘴及所述第四气嘴固定于所述承载座。

10.一种储存设备，其特征在于，包括：

柜体；及

如权利要求1-9任一项所述的用于前开式晶圆传送盒的机台，设置于所述柜体内，所述用于前开式晶圆传送盒的机台将所述柜体分割成若干个储存腔室。