[实用新型]一种具有辅助降温和保护功能的真空系统

摘要

本实用新型公开了一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室，所述工作腔室的前表面开设有观察窗，且工作腔室的左侧表面安装有腔室门，所述工作腔室的下表面左侧安装有架台，且工作腔室的下表面右侧安装有低温冷阱，所述低温冷阱的内部安装有冷阱隔热板，且低温冷阱的下端安装有超低温冷凝泵，所述超低温冷凝泵的下端安装有水和气供应系统，所述工作腔室的内部安装有腔室内制冷负载结构，本实用新型通过装载在真空系统内部的低温制冷机的输出负载为超低温冷凝泵吸干燥残余气体，并通过专门设计的低温冷阱和冷阱隔热板将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机提供辐射热隔离保护。