[实用新型]一种具有辅助降温和保护功能的真空系统

权利要求书

1.一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室(1)，其特征在于，所述工作腔室(1)的前表面开设有观察窗(7)，且工作腔室(1)的左侧表面安装有腔室门(6)，所述工作腔室(1)的下表面左侧安装有架台(12)，且工作腔室(1)的下表面右侧安装有低温冷阱(11)，所述低温冷阱(11)的内部安装有冷阱隔热板(13)，且低温冷阱(11)的下端安装有超低温冷凝泵(2)，所述超低温冷凝泵(2)的下端安装有水和气供应系统(8)，所述工作腔室(1)的内部安装有腔室内制冷负载结构(16)，且工作腔室(1)的上表面右侧安装有主阀气缸(10)，所述主阀气缸(10)的下端安装有阀盖(9)。

2.根据权利要求1所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述工作腔室(1)的右方安装有低真空泵组系统(3)，所述低真空泵组系统(3)的上端连接有第一管道(4)，所述第一管道(4)的左侧表面连接有第二管道(5)。

3.根据权利要求2所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述工作腔室(1)的前方安装有电气控制系统(15)，所述低真空泵组系统(3)的前方安装有低温制冷机(14)。

4.根据权利要求1所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述阀盖(9)位于工作腔室(1)的内部，且阀盖(9)正对于冷阱隔热板(13)，所述腔室内制冷负载结构(16)位于阀盖(9)的左侧。

5.根据权利要求2所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述第一管道(4)的一端贯穿连接于工作腔室(1)的右侧表面，所述第二管道(5)的一端贯穿连接于低温冷阱(11)的右侧表面。

6.根据权利要求3所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述低温制冷机(14)连接于腔室内制冷负载结构(16)，且低温制冷机(14)连接于冷阱隔热板(13)。