[实用新型]一种具有辅助降温和保护功能的真空系统

说明书

本实用新型公开了一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室，所述工作腔室的前表面开设有观察窗，且工作腔室的左侧表面安装有腔室门，所述工作腔室的下表面左侧安装有架台，且工作腔室的下表面右侧安装有低温冷阱，所述低温冷阱的内部安装有冷阱隔热板，且低温冷阱的下端安装有超低温冷凝泵，所述超低温冷凝泵的下端安装有水和气供应系统，所述工作腔室的内部安装有腔室内制冷负载结构，本实用新型通过装载在真空系统内部的低温制冷机的输出负载为超低温冷凝泵吸干燥残余气体，并通过专门设计的低温冷阱和冷阱隔热板将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机提供辐射热隔离保护。

技术领域

本实用新型涉及真空系统技术领域，具体是一种具有辅助降温和保护功能的真空系统。

背景技术

真空系统广泛应用于电子半导体行业、光电背光模组和机械加工等行业，但是，现有的真空系统没有辅助降温功能，且现有的真空系统没有对真空发生设备进行保护的功能。因此，本领域技术人员提供了一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室，所述工作腔室的前表面开设有观察窗，且工作腔室的左侧表面安装有腔室门，所述工作腔室的下表面左侧安装有架台，且工作腔室的下表面右侧安装有低温冷阱，所述低温冷阱的内部安装有冷阱隔热板，且低温冷阱的下端安装有超低温冷凝泵，所述超低温冷凝泵的下端安装有水和气供应系统，所述工作腔室的内部安装有腔室内制冷负载结构，且工作腔室的上表面右侧安装有主阀气缸，所述主阀气缸的下端安装有阀盖。

作为本实用新型再进一步的方案：所述工作腔室的右方安装有低真空泵组系统，所述低真空泵组系统的上端连接有第一管道，所述第一管道的左侧表面连接有第二管道。

作为本实用新型再进一步的方案：所述工作腔室的前方安装有电气控制系统，所述真空泵组系统的前方安装有低温制冷机。

作为本实用新型再进一步的方案：所述阀盖位于工作腔室的内部，且阀盖正对于冷阱隔热板，所述腔室内制冷负载结构位于阀盖的左侧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一管道的一端贯穿连接于工作腔室的右侧表面，所述第二管道的一端贯穿连接于低温冷阱的右侧表面。

作为本实用新型再进一步的方案：所述低温制冷机连接于腔室内制冷负载结构，且低温制冷机连接于冷阱隔热板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过装载在真空系统内部的低温制冷机的输出负载为超低温冷凝泵吸干燥残余气体，并通过专门设计的低温冷阱和冷阱隔热板将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机提供辐射热隔离保护。

附图说明

图1为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的结构示意图；

图2为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的俯视图；

图3为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的局部连接示意图。

图中：1、工作腔室；2、超低温冷凝泵；3、低真空泵组系统；4、第一管道；5、第二管道；6、腔室门；7、观察窗；8、水和气供应系统；9、阀盖；10、主阀气缸；11、低温冷阱；12、架台；13、冷阱隔热板；14、低温制冷机；15、电气控制系统；16、腔室内制冷负载结构。

具体实施方式