[实用新型]一种大产能刻蚀设备有效

专利信息
申请号: 202122231291.3 申请日: 2021-09-15
公开(公告)号: CN216413099U 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 秦磊;杨均炎;张忠卫 申请(专利权)人: 南通苏民新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 严志平
地址: 226300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种大产能刻蚀设备,包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮,反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽,上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮,反应装置内位于下反应槽下方设置有储液箱,反应装置左右侧面设置有反应液管道,反应液管道下端接在储液箱内,反应液管道上部分别与上反应槽和下反应槽连通,产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带,前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接,后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接。本实用新型的一种大产能刻蚀设备,能够在不改变设备占地面积前提下,提升产能产出,避免造成产能堆积。
搜索关键词: 一种 产能 刻蚀 设备
【主权项】:
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