[实用新型]一种大产能刻蚀设备

说明书

本实用新型公开了一种大产能刻蚀设备，包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮，反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽，上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮，反应装置内位于下反应槽下方设置有储液箱，反应装置左右侧面设置有反应液管道，反应液管道下端接在储液箱内，反应液管道上部分别与上反应槽和下反应槽连通，产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带，前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接，后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接。本实用新型的一种大产能刻蚀设备，能够在不改变设备占地面积前提下，提升产能产出，避免造成产能堆积。

技术领域

本实用新型涉及一种大产能刻蚀设备，属于太阳能伏电池制光造技术领域。

背景技术

在太阳电池制造工艺中，刻蚀工序属于产品工艺中的第四道工序。该工序的设备制造技术已相当成熟，但设备产能却停滞不前。当前刻蚀设备产能普遍在6000-7000片/小时(8轨道)，低于制绒(8000片/小时)和扩散(8000片/小时)这些前端工序的产能。因此，在不额外增长设备的情况下，容易造成产能堆积。

当前所有的刻蚀设备的运行模式总体一致，属于单层直线型流水工作，产能形式单一。虽然，在原先的5轨道(产能4000片/小时)设备上已经扩建成了8轨道，产能也有了显著提升，但设备的体积也因此增加了30％左右，大幅挤压了有限的场地面积。因此，单位面积下的产能产出提升并不显著。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种大产能刻蚀设备，能够在不改变设备占地面积前提下，提升产能产出，避免造成产能堆积。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种大产能刻蚀设备，包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮，所述反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽，所述上反应槽和下反应槽内放置有反应液，所述上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮，所述反应装置内位于所述下反应槽下方设置有储液箱，所述反应装置左右侧面设置有反应液管道，所述反应液管道下端接在所述储液箱内，所述反应液管道上部分别与所述上反应槽和下反应槽连通，所述产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带，所述产品上料上位于所述前传输皮带上方设置有水膜装置，所述前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接，两个所述前活动输送板后端分别位于所述上传动滚轮前端，所述后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接，两个所述后活动输送板前端分别位于所述下传动滚轮后端。

所述上反应槽和下反应槽的个数为N个，其中N为大于等于2的整数。

所述上反应槽和下反应槽的个数为3个。

所述反应液管道与所述上传动滚轮和下传动滚轮之间的间距为15cm。

所述上反应槽和下反应槽形状大小相同。

所述上传动滚轮和下传动滚轮形状大小相同。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的一种大产能刻蚀设备，设备占地面积并无改变，上下料装置也无需增加，同时设备整体高度增加0.3～0.4m，长度不变，通过设置双层反应槽来提升传输速率，工业单小时产能可提升80％-100％，避免造成产能堆积。

附图说明

图1为本实用新型一种大产能刻蚀设备的主视剖面结构示意图；

图2为本实用新型一种大产能刻蚀设备的侧视剖面结构示意图；

图3为本实用新型一种大产能刻蚀设备的俯视结构示意图。