[实用新型]一种大产能刻蚀设备

权利要求书

1.一种大产能刻蚀设备，其特征在于：包括产品上料(1)、反应装置(2)、产品下料(3)和花篮(4)，所述反应装置(2)内上下方向分别设置有上反应槽(10)和下反应槽(12)，所述上反应槽(10)和下反应槽(12)内放置有反应液，所述上反应槽(10)和下反应槽(12)上分别设置有上传动滚轮(11)和下传动滚轮(13)，所述反应装置(2)内位于所述下反应槽(12)下方设置有储液箱(17)，所述反应装置(2)左右侧面设置有反应液管道(5)，所述反应液管道(5)下端接在所述储液箱(17)内，所述反应液管道(5)上部分别与所述上反应槽(10)和下反应槽(12)连通，所述产品上料(1)和产品下料(3)上分别设置有前传输皮带(6)和后传输皮带(16)，所述产品上料(1)上位于所述前传输皮带(6)上方设置有水膜装置(9)，所述前传输皮带(6)的后端通过前活动中枢(7)与两个前活动输送板(8)前端连接，两个所述前活动输送板(8)后端分别位于所述上传动滚轮(11)前端，所述后传输皮带(16)前端通过后活动中枢(15)与两个后活动输送板(14)后端连接，两个所述后活动输送板(14)前端分别位于所述下传动滚轮(13)后端。

2.根据权利要求1所述的一种大产能刻蚀设备，其特征在于：所述上反应槽(10)和下反应槽(12)的个数为N个，其中N为大于等于2的整数。

3.根据权利要求2所述的一种大产能刻蚀设备，其特征在于：所述上反应槽(10)和下反应槽(12)的个数为3个。

4.根据权利要求1所述的一种大产能刻蚀设备，其特征在于：所述反应液管道(5)与所述上传动滚轮(11)和下传动滚轮(13)之间的间距为15cm。

5.根据权利要求1所述的一种大产能刻蚀设备，其特征在于：所述上反应槽(10)和下反应槽(12)形状大小相同。

6.根据权利要求1所述的一种大产能刻蚀设备，其特征在于：所述上传动滚轮(11)和下传动滚轮(13)形状大小相同。