[实用新型]一种石墨舟外舟页及石墨舟有效
| 申请号: | 202122229906.9 | 申请日: | 2021-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN215560656U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
| 发明(设计)人: | 金晨淦;金刚刚;马政;任良为;何悦 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 郭利娜 |
| 地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型属于石墨舟技术领域,具体公开了一种石墨舟外舟页及石墨舟,该石墨舟外舟页包括舟片本体,舟片本体上设有气孔,气孔贯穿舟片本体设置,气孔的设置位置对应于硅片的主栅线的位置。通过将气孔的设置位置与硅片成品的主栅线的位置对应,硅片在完成镀膜后所产生的气孔印,在下一道丝印工艺时,印刷到硅片上的主栅线就能够覆盖掉硅片上的气孔印,从而硅片成品中的气孔印被主栅线覆盖,外观质量检测合格,且不影响硅片的使用功能。本实用新型还提供一种石墨舟,该石墨舟包括上述方案中的石墨舟外舟页,采用该石墨舟制作的硅片的成品表面不存在气孔印,外观质量检测良好,且硅片性能保持良好。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 舟外舟页 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





