[实用新型]一种石墨舟外舟页及石墨舟有效

专利信息
申请号: 202122229906.9 申请日: 2021-09-15
公开(公告)号: CN215560656U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 金晨淦;金刚刚;马政;任良为;何悦 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 郭利娜
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型属于石墨舟技术领域,具体公开了一种石墨舟外舟页及石墨舟,该石墨舟外舟页包括舟片本体,舟片本体上设有气孔,气孔贯穿舟片本体设置,气孔的设置位置对应于硅片的主栅线的位置。通过将气孔的设置位置与硅片成品的主栅线的位置对应,硅片在完成镀膜后所产生的气孔印,在下一道丝印工艺时,印刷到硅片上的主栅线就能够覆盖掉硅片上的气孔印,从而硅片成品中的气孔印被主栅线覆盖,外观质量检测合格,且不影响硅片的使用功能。本实用新型还提供一种石墨舟,该石墨舟包括上述方案中的石墨舟外舟页,采用该石墨舟制作的硅片的成品表面不存在气孔印,外观质量检测良好,且硅片性能保持良好。
搜索关键词: 一种 石墨 舟外舟页
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