[实用新型]一种石墨舟外舟页及石墨舟有效

申请号：	202122229906.9	申请日：	2021-09-15
公开（公告）号：	CN215560656U	公开（公告）日：	2022-01-18
发明（设计）人：	金晨淦;金刚刚;马政;任良为;何悦	申请（专利权）人：	横店集团东磁股份有限公司
主分类号：	C23C16/458	分类号：	C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673
代理公司：	北京品源专利代理有限公司 11332	代理人：	郭利娜
地址：	322118 浙***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	一种石墨舟外舟页
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【权利要求书】：

1.一种石墨舟外舟页，其特征在于，包括舟片本体(1)，所述舟片本体(1)与相邻的石墨舟舟片之间插设有硅片(2)，所述硅片(2)的表面丝印有若干主栅线(3)，每条所述主栅线(3)上包括若干节点(31)，所述舟片本体(1)上设有气孔(11)，所述气孔(11)贯穿所述舟片本体(1)设置，所述气孔(11)的位置与所述节点(31)的位置一一正对设置。

2.根据权利要求1所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述气孔(11)的直径为0.5mm～1.3mm，且小于所述节点(31)的宽度。

3.根据权利要求2所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述气孔(11)设置有若干个，每个所述气孔(11)对应不同条的所述主栅线(3)的所述节点(31)设置。

4.根据权利要求3所述的石墨舟外舟页，其特征在于，若干所述气孔(11)呈直线分布，且所述直线与所述硅片(2)的中心轴线重合。

5.根据权利要求3所述的石墨舟外舟页，其特征在于，若干所述气孔(11)位于同一圆上，所述圆的圆心对应于所述硅片(2)的中心位置。

6.根据权利要求2所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述气孔(11)设置有若干个，每个所述气孔(11)对应同一条所述主栅线(3)的所述节点(31)设置。

7.根据权利要求1所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述舟片本体(1)上沿所述舟片本体(1)的长度方向设置有若干凹槽，每个所述凹槽对应设置一片所述硅片(2)。

8.根据权利要求7所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述凹槽外围设置有卡点孔(12)，所述卡点孔(12)内设置有卡点，所述卡点与所述硅片(2)的侧壁抵接，以固定所述硅片(2)。

9.根据权利要求8所述的石墨舟外舟页，其特征在于，所述硅片(2)相对于所述舟片本体(1)的长度方向倾斜角度α，所述倾斜角度α为3°～4°。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括如上权利要求1-9任一项所述的石墨舟外舟页。

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