[实用新型]一种石墨舟外舟页及石墨舟

说明书

本实用新型属于石墨舟技术领域，具体公开了一种石墨舟外舟页及石墨舟，该石墨舟外舟页包括舟片本体，舟片本体上设有气孔，气孔贯穿舟片本体设置，气孔的设置位置对应于硅片的主栅线的位置。通过将气孔的设置位置与硅片成品的主栅线的位置对应，硅片在完成镀膜后所产生的气孔印，在下一道丝印工艺时，印刷到硅片上的主栅线就能够覆盖掉硅片上的气孔印，从而硅片成品中的气孔印被主栅线覆盖，外观质量检测合格，且不影响硅片的使用功能。本实用新型还提供一种石墨舟，该石墨舟包括上述方案中的石墨舟外舟页，采用该石墨舟制作的硅片的成品表面不存在气孔印，外观质量检测良好，且硅片性能保持良好。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种石墨舟外舟页及石墨舟。

背景技术

在光伏行业PECVD领域，石墨舟是一种常用载具，而目前行业中通常所使用的石墨舟的外舟页上未设置有气孔，长期使用时，放置于靠近外舟页的硅片会出现紧密贴合于石墨舟外舟页的情况，导致硅片不容易取出，从而影响石墨舟的产能和稼动率。

为了解决上述问题，现有技术中出现了在石墨舟外舟页上开设气孔的技术方案，然而开设气孔后，在硅片进行镀膜工艺时，由于气体与硅片发生的化学反应，将会在硅片上形成明显的气孔印，影响其外观，导致硅片产品不良。

因此，亟需一种石墨舟外舟页及石墨舟，能够避免硅片产生气孔印造成的外观检测不良的情况，满足硅片产品的外观质量要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟外舟页及石墨舟，以解决硅片镀膜后，由于硅片表面的气孔印而造成硅片产品外观质量不良的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型提供一种石墨舟外舟页，该石墨舟外舟页包括：

舟片本体，所述舟片本体与相邻的石墨舟舟片之间插设有硅片，所述硅片的表面丝印有若干主栅线，每条所述主栅线上包括若干节点，所述舟片本体上设有气孔，所述气孔贯穿所述舟片本体设置，所述气孔的位置与所述节点的位置一一正对设置。

可选地，所述气孔的直径为0.5mm～1.3mm，且小于所述节点的宽度。

可选地，所述气孔设置有若干个，每个所述气孔对应不同条的所述主栅线的所述节点设置。

可选地，若干所述气孔呈直线分布，且所述直线与所述硅片的中心轴线重合。

可选地，若干所述气孔位于同一圆上，所述圆的圆心对应于所述硅片的中心位置。

可选地，所述气孔设置有若干个，每个所述气孔对应同一条所述主栅线的所述节点设置。

可选地，所述舟片本体上沿所述舟片本体的长度方向设置有若干凹槽，每个所述凹槽对应设置一片所述硅片。

可选地，所述凹槽外围设置有卡点孔，所述卡点孔内设置有卡点，所述卡点与所述硅片的侧壁抵接，以固定所述硅片。

可选地，所述硅片沿所述舟片本体的长度方向倾斜角度α，所述倾斜角度α为3°～4°。

另一方面，本实用新型提供一种石墨舟，包括上述任一方案中的石墨舟外舟页。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种石墨舟外舟页，该石墨舟外舟页包括舟片本体，舟片本体上设有气孔，气孔贯穿舟片本体设置，气孔的设置位置对应于硅片的主栅线的位置。通过将气孔的设置位置与硅片成品的主栅线的位置对应，硅片在完成镀膜后所产生的气孔印，在下一道丝印工艺时，印刷到硅片上的主栅线就能够覆盖掉硅片上的气孔印，从而硅片成品中的气孔印被主栅线覆盖，外观质量检测合格，且不影响硅片的使用功能。