[实用新型]一种半导体芯片用光阻液喷涂装置有效
| 申请号： | 202122227890.8 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN216094360U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 吴雪燕 | 申请（专利权）人： | 马鞍山思派科创科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;B05B15/40;B05B14/00;B05B1/02;B05B13/02 |
| 代理公司： | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人： | 易敏 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体芯片技术领域，且公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有过滤机构，所述外壳的外壁一侧安装有回收机构，所述回收机构的外壁安装有出液口，所述出液口的底部安装有雾化，所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过储液箱、固定环、滤网、第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，并且使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 用光 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
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